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功能特點
A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高
一臺儀器內置了LCR數字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統內，操作更簡單。特別適合產線快速化、自動化測試。
B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無遺
MOSFET或IGBT*重要的四個寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數同時顯示，一目了然。
一鍵測試單管器件器件時，無需頻繁切換測試腳位、測量參數、測量結果，大大提高了測試效率。
C.列表測試，多個、多芯、模組器件測量參數同屏顯示
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持*多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數通過列表掃描模式同時顯示測試結果及判斷結果。
D.曲線掃描功能（選件）
在MOSFET的參數中，CV特性曲線也是一個非常重要的指標，如下圖
TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對數、線性兩種方式實現曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線。
E.**的接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患
F.**的快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件
在半導體器件特性測試時，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個芯已經損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被為合格，而半導體器件的導通特性才是*重要的特性。
因此，對于本身導通特性**的產品進行C-V特性測試是完全沒有必要的，不僅僅浪費了測量時間，同時會由于C-V合格而混雜在良品里，導致成品出貨后被退回帶來損失.
TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。
G.**模組式器件設置，支持定制
針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優化，常見模組式芯片Demo已內置，特殊芯片支持定制.
H.簡單快捷設置
I.10檔分選及可編程HANDLER接口
J.支持定制化，智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。
固件升級非常智能，可以通過系統設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優盤甚至是局域網內升級包，并自動進行升級
K.獨特技術解決Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動化系統高速測試精度
同惠電子在電容測試行業近30年的經驗積累，得以在產線、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容、電阻等測試精度。
常規產線測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。
針對自動化測試，由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線，大多自動化設備生產商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差，為此，同惠設計了獨特的2米延長線并內置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。
L.半導體元件寄生電容知識
在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數
在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例。
M.標配附件
- 應用
-
■ 半導體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
■ 半導體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數分析
■電容元件
電容器C-V特性測試及分析，電容式傳感器測試分析
- 技術參數
-
產品型號
TH511
TH512
TH513
通道數
2（可選配4/6通道）
1
顯示
顯示器
10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
測量參數
Ciss、Coss、Crss、Rg，四參數任意選擇
測試頻率
范圍
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
測試電平
電壓范圍
5mVrms-2Vrms
準確度
±（10%×設定值+2mV）
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS電壓
范圍
0 - ±40V
準確度
1%×設定電壓+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V -±40V
VDS電壓
范圍
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
準確度
1%×設定電壓+100mV
輸出阻抗
100Ω，±2%@1kHz
數+*-算
與標稱值的**偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%
校準功能
開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD
測量平均
1-255次
AD轉換時間（ms/次）
快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms
*高準確度
0.5%（具體參考說明書）
Ciss、Coss、Crss
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±（0.000% - 999.9%）
多功能參數列表掃描
點數
50點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選
參數
測試頻率、Vg、Vd、通道
觸發模式
順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次
步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在*后的/EOM才輸出
圖形掃描
掃描點數
任意點可選，*多1001點
結果顯示
同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線
顯示范圍
實時自動、鎖定
坐標標尺
對數、線性
掃描參數觸發方式
Vg、Vd
單次
手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描
連續
從起點到終點無限次循環掃描
結果保存
圖形、文件
- 附件
| 標配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||
| TH510夾具控制連接電纜 | TH26063D | ||||
| TH510測試延長線 | TH26063G | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||